RISU_TOP.GIF - 4,722BYTES 膝附拓也

修士論文:「光渦を利用したレーザー描画リソグラフィに関する研究」

論 文 概 要


(査読論文)

1.
Fabrication of fine metal structures based on laser drawing method using interference pattern from co-propagating optical vortices, M. Sakamoto, T. Hizatsuki, K. Noda, T. Sasaki, N. Kawatsuki, K. Goto and H. Ono, Appl. Phys. Lett. 112 (2018) 021106. https://doi.org/10.1063/1.5011704.
2.

3.

(口頭発表)

1.
第66 回応用物理学会春季学術講演会(3月9日〜12日、東工大・大岡山キャンパス)
光渦同軸干渉光を 利用したレーザー描画露光法によるフォトレジストへの回折限界を超えた曲線パターンの形成
膝附拓也、坂本盛嗣、野田浩平、佐々木友之、川月喜弘、後藤耕平、小野浩司
2.

3.

4.

5.

6.

7.


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