主要実験設備

RISU_TOP.GIF - 4,722BYTES

電磁波・光波制御実験主要システム

偏光ホログラム露光光学系


ガルバノ偏光変調露光描画系


特殊偏光(偏光渦)発生・記録光学系


THzレーザー発振システム



個別主要装置

He -Cdレーザー 2台
(金門光波、IK3501R-G、波長325nm、出力50mW)

YAG (第2高調波)レーザー
(Quantum、Torus532-100s、波長532nm、出力100mW、計2台)

HE_CD.GIF - 45,943BYTES YAG1.GIF - 35,356BYTES

YAG(第2高調波)レーザー
(Uniphase、4601-050-1000、波長532nm、出力50mW)

DPSSグリーンレーザー
(Spectra Physics、PC14584、波長488nm、出力50mW)
YAG2.GIF - 29,001BYTES 488.GIF - 36,127BYTES

Nd:YAGレーザー(LOTIS社製LS-2136-LP)
波長1064 nm、パルス幅20 ns、パルスエネルギー40 mJ以上、繰返し周波数50 Hz
光スペクトラムアナライザ(ADVANTEST社製Q8344A)
測定範囲350 nmから1750 nm、最高分解能0.05 nm
YAG2.GIF - 29,001BYTES488.GIF - 36,127BYTES


アルゴンイオンレーザー
(Omnichrome、Argon457-529、波長514nm、出力500mW)

高出力He- Neレーザー
(<17mW、計6台)

ARGON.GIF - 33,349BYTES HE-NE.GIF - 42,025BYTES

Nd-YAG赤外レーザー
(B&W TEK INC. BWR-50E/55870, 1064 nm, 53 mW, IIIb
)

半導体レーザースターターセット(構成品・・・電流コントローラー:LDC205C,温度コントローラー:TED200C, TEC LDマウント:TCLDM9)
IR_LASER.GIF - 72,012BYTESIR_LASER.GIF - 72,012BYTES

テラヘルツ分光解 析プラットフォーム(ADVANTEST社製TAS7500TS) 帯域:0.1-4.0THz 分解能:3.8GH ダイナミックレンジ:60dB以上


透過型液晶空間光変調器
(Holoeye、LC2002)
反射型液晶空間光変調器
(浜松フォトニクス、LCOS-SLM、X10468-04)
SLM1.GIF - 31,325BYTES


自由空間型EO位相変調器:EO-PM-NR-C4(400nm~600nm対応)
SLM1.GIF - 31,325BYTES




ビームプロファイラー
(Visulux、62101、CMOS、1280960pixcel)
マイクロビームプロファイラ
(μBeam-X-USB2.0, Duma Optronics製、波長域:480-1800nm、測定可能最小ビーム径:0.5μm
保有対物レンズ:20倍、50倍、100倍)
BEAM_PROFILER.GIF - 38,994BYTES

ビームプロファイラ
(Coherent、LaserCam-HR、波長300-1100nm対応、 12801024pixcel)
ナイフエッジ式ビームプロファイラ
(シグマ光機、OS-BA-SAT、紫外対応、190nm~1100nm)


EO変調器(低電圧駆動型)
(LEYSOP社 EM400-F-AM-AR325-FS)


CCDスペクトロメータ(紫外)
(Ocean Optics、高分解能ファイバマルチチャンネル分光器、HR4000)
CCDスペクトロメータ (可視)
(Ocean Optics、USB4000、200-850nm)


CCD_SPECT.GIF - 31,547BYTES


表面粗さ計
(東京精密 Surfcom130A)



干渉顕微鏡 (菱化システム社製VertScan R3300FL-Lite-AC、対物レンズ倍率:x5,x10,x20,x50,x100、厚さ方向分解能:0.01nm)
Optical MicroGauge 厚み計(浜松フォトニクス、C11011-01、測定膜厚範囲25μm~2200μm(ガラス)、10μm~900μm(シリコン)、測定精度0.1%)


偏光顕微鏡
(Nikon、ECLIPSE E200、他3台
)

高性能光学除振台
(駿河精機(180120cm)、他10台)
POM.GIF - 40,110BYTES OV.GIF - 39,929BYTES

ガルバノスキャナ(SCANLAB社製SCANcube@10、
適用波長:250nm-700nm、レンズ:f=56mm)


光 学実験用温度コントローラ・ステージ
(INSTEC、mk1000、-30~120℃)
紫 外線均一露光装置(偏光露光可)
(山下電装、KIN-ITSU-KUN、波長313/356nm)
HS.GIF - 35,840BYTES UV.GIF - 43,874BYTES

スピンコーター
(Mikasa、MS-A100
)

スパッタ・コーター
(SANYU ELECTRON SC-701)
SC.GIF - 43,202BYTES SUP_COT.GIF - 42,938BYTES

UVナノインプリント実験成形装置(真空対応)
(東洋合成、nanoimprint, TOYO GOSEI
)

UVNANOIMPRINT.GIF - 53,062BYTES

電界放射形走査電子顕微鏡 (FE-SEM)
S-4000 (Hitachi)

FESEM.gif

任意波形信号源とオシロスコープ
(任意波形信号源:INSTEK AWG-3051 50MHz、4chデジタルオシロ:INSTEK GDS-2064 60MHz)

FESEM.gif

ポラリメータ(偏光測定計) 2台
(THORLABS PAX7510VIS-T)

FESEM.gif

電磁界シミュレーション用パーソナルクラスタコンピュータ
(HPCシステムズ、 BoxClusterXN(2.53M8-4/1-12G)-SIP、Linux)



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